SEMI E152 - 150 mm EUVL レチクル用 EUV ポッドの機械的特徴の仕様 -

Abstract

この規格は、6 インチ レチクルの出荷、輸送、保管に使用される 150 mm 極端紫外リソグラフィー (EUVL) レチクル用の EUV ポッドを指定します。 EUV ポッドは、外側ポッドと保護用内側ポッドで構成されます。 EUV Podは、従来のレチクルキャリアがEUVLの要件を満たさない場合に使用されます。

この規格は、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。この仕様に記載されている多くの要件は、必要な表面がほとんどない最大または最小の寸法の形式になっています。この仕様には、材料要件や微小汚染の制限は記載されていません。

EUV光は減衰が大きいため、従来のペリクルフィルムをEUVLレチクルの前に配置することはできません。インナーポッドはレチクルを粒子汚染から保護するためのものです。

EUV ポッドには次のコンポーネントとサブコンポーネントがあります。インナーポッドのベースプレートには、使用目的に応じて 2 つの構成が可能です。これらはタイプ A およびタイプ B と呼ばれます。それぞれの詳細な構成要件を表 2 に示します。

EUV 基板、ブランク、レチクルの既存の仕様に従う必要があります。したがって、この規格で指定された要件は、SEMI P37、SEMI P38、および SEMI P40 の仕様から導き出される性能に悪影響を及ぼしてはなりません。

SEMI E1.9 — 300mmウエハの搬送・保管に使用するカセットの機械仕様

SEMI E19.4 — 仕様 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF) 用

SEMI E57 — 仕様 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用されるキネマティックカップリング用

SEMI E100 — 仕様 6 インチまたは 230mm レチクルを輸送および保管するためのレチクル SMIF ポッド (RSP) 用

SEMI P37 — 極端紫外線リソグラフィーマスク基板の仕様

SEMI P38 — 極端紫外線マスク上の吸収フィルムスタックおよび多層の仕様 ブランク

SEMI P40 — 取り付け要件の仕様とアライメント基準位置 極端紫外線マスク

SEMI T16 — 自動識別のためのデータ マトリックス シンボルの使用に関する仕様 極端紫外線マスクの

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