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SEMI E158 - 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用されるファブ ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械的特徴に関する仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書の目的は、半導体デバイス製造施設内で SEMI M74 に指定されている 450 mm ウェーハの搬送および保管に使用するキャリアの基本的な物理的寸法を確立することです。
この文書は、キャリアの寸法およびキャリアと相互作用するロード ポートの特徴の基準面を定義することを目的としています。
この文書は、革新的なソリューションを制限することなく、ロード ポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要件を定義することを目的としています。
この文書では、450 mm キャリアの外観特徴と寸法を指定します。
この文書は、450 mm キャリア内でウェーハを支持および拘束するための内部排除容積を指定します。
この文書では、450 mm キャリアを支持し、位置決めするキネマティック カップリング ピン (KCP) の重要な寸法と位置を指定します。
この文書では、キャリアの寸法の基準として 3 つの直交する基準面を定義します。
SEMI E144 — 半導体製造装置および資材運搬装置におけるキャリア内の RFID タグと RFID リーダー間の RF エア インターフェイスの仕様
SEMI M74 — 直径 450 mm の研磨ウェーハの機械的取り扱いの仕様
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