SEMI E159 - 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用されるマルチ アプリケーション キャリア (MAC) の機械的特徴に関する仕様 -

Abstract

この文書の目的は、SEMI M74 で指定されている 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用するキャリアの基本的な物理的寸法を確立することです。

この文書は、キャリアの寸法およびキャリアと相互作用するロード ポートの特徴の基準面を定義することを目的としています。

この文書は、革新的なソリューションを制限することなく、ロード ポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要件を定義することを目的としています。

この規格では、450 MAC が主にシリコン ウェーハの製造中、および処理済みのデバイス ウェーハの保管と輸送に使用され、同時にウェーハの品質を維持し、キャリアの自動使用を可能にすることを前提としています。自動化された方法を使用して、ウェーハを MAC から 450 FOUP に、および 450 FOUP から MAC に移送することをお勧めします。

この文書では、450 mm キャリアの外観特徴と寸法を指定します。

この文書は、450 mm キャリア内でウェーハを支持および拘束するための内部排除容積を指定します。

この文書では、450 mm キャリアを支持し、位置決めするキネマティック ピンの重要な寸法と位置を指定します。

この文書では、キャリアの寸法の基準として 3 つの直交する基準面を定義します。

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