SEMI E149 - 製造装置の取得および使用に関する装置サプライヤー提供の文書ガイド -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

注意: 「注:」というタイトルの段落は、この規格または安全ガイドラインの正式な部分ではなく、公式の規格または安全ガイドラインを修正したり置き換えたりすることを意図したものではありません。これらは、標準または安全ガイドラインの使用を強化するために、世界的な技術委員会によって提供されています。

この規格は、半導体、フラット パネル ディスプレイ (FPD)、またはその他の関連製造装置の取得および使用のために、装置サプライヤーが装置購入者に提供する文書の内容と使いやすさに関する推奨事項を示しています。この規格は、機器供給者と購入者間のより効果的な機器取得（購入、リースなど）契約をサポートします。完全な文書化により、購入者の機器の入手、設置、使用、保守、修理の能力が向上し、生産性が向上し、コストが削減されます。

この規格は、新しい半導体、FPD、またはその他の関連製造装置およびサプライヤーが提供するサポート装置について、装置の入手、設置、運用、保守、修理、廃棄の側面をカバーするために、装置のサプライヤーが装置購入者に提供するすべての文書に適用されます。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント

SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E33 — 半導体製造の電磁両立性 (EMC) に関するガイド

SEMI E36 — 半導体装置製造情報のタグ付け仕様

SEMI E70 — 工具適応プロセスのガイド

SEMI E72 — 300 mm の機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド

SEMI E76 — 300 mm プロセス装置の施設サービスへの接続ポイントに関するガイド

SEMI E137 — 半導体製造装置の最終組み立て、梱包、輸送、開梱、および移設に関するガイド

SEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様

SEMI E150 — 機器トレーニングのベストプラクティスに関するガイド

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン

SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学の安全ガイドライン

SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン

SEMI S16 — 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド

SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド

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