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SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 5 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2009 年 3 月に出版されました。以前は 2011 年 12 月に出版されました。
このガイドの目的は、半導体装置が生成するデータの品質に対処する際に使用できる共通の用語と定義を提供することです。これは、生産設備によって生成されるデータの品質を指定、伝達、対処、および議論するのに役立つ一連の共通の定義を確立します。
このガイドには次のコンポーネントが含まれています。
データ品質と関連用語を理解するためのアプローチの背景と説明。
参照されるSEMI規格SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様
SEMI E134 — データ収集管理 (DCM) の仕様
SEMI E145 — XML における測定単位記号の分類
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