SEMI E160 - データ品質の通信仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2011 年 2 月に出版されました。

注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。

半導体業界が e-Manufacturing を導入する中、機器が生成するデータは機器の生産性を向上させるために重要です。データを使用および/または分析するソフトウェア アプリケーションを適切に使用するには、報告されるデータの品質が最も重要です。これは、SECS (SEMI Equipment Communications Standard) および Equipment Data Acquisition (EDA) インターフェイス システムを含む通信に影響を与えます。この規格の目的は、半導体装置データの品質を伝達するための一般に受け入れられる仕様を提供することです。この規格は、次の方法で使用することを目的としています。

• 半導体装置によって生成されるデータの品質を伝達するための一連の指標を確立する。
• 半導体装置によって生成される選択されたデータパラメータの品質を伝達するため。
• 機器サプライヤー、半導体メーカー、機器サブシステムサプライヤー、制御システムサプライヤーが使用するアプリケーションのサービス品質やパフォーマンス品質を保証するために、測定可能なレベルのデータ品質を提供する。

データ品質レポートのコンプライアンス方法を提供するため。

この仕様では、機器のデータ品質を報告するためのメトリクスと計算を定義します。この規格の範囲内のデータは、電子インターフェースを介して半導体装置から取得可能なあらゆるデータです。データ品質メトリクスを使用すると、データ品質の属性または要素を定量化できるため、この属性または要素を伝達および検証できます。この文書は、SEMI E151、データ品質理解ガイドで定義されているデータ品質の側面、属性、および要素に対応するデータ品質メトリクスを定義します。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 (SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E128 — XML メッセージ構造の仕様
SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様
SEMI E134 — データ収集管理 (DCM) の仕様
SEMI E138 — XML Semiconductor 共通コンポーネントの仕様
SEMI E145 — XML における測定単位記号の分類
SEMI E151 — データ品質を理解するためのガイド

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