SEMI E153 - AMHS SEM の仕様 (AMHS SEM) -

Abstract

この規格は、自動マテリアルハンドリングシステム(AMHS) の特定機器モデル (SEM) (AMHS SEM) を確立します。このモデルは、SEMI E30 の基本要件と選択された追加機能に加えて実装される機器の特性と動作で構成されます。この規格の目的は、AMHS SEM 装置の自動化された (半導体製造など) 工場への統合を促進することです。この文書は、ファクトリー オートメーション コントローラー (ホスト) から見た AMHS SEM 装置の運用モデルを定義することでこれを実現します。この定義は、標準のホスト インターフェイスと機器の動作動作 (制御、状態モデル、データ レポート、レポート レベルなど) を提供します。トラフィック管理特性 (キューイング)、キャリア転送用パラレル インターフェイス (SEMI E84)、トランスポートおよびストレージ システム コントローラ アーキテクチャ、および転送ユニットの配送など、いくつかのトピックでは、この規格の範囲内にある追加のアクティビティが必要です。

この規格の範囲は、GEM モデルに準拠する SEMI Equipment Communications Standard 2 (SECS-II) ホストによって認識される、輸送、保管、または輸送と保管の両方の組み合わせをサポートするマテリアルハンドリングデバイスの使用法と説明に限定されます。 (§ 11 で指定されているとおり)。 SECS 通信リンクを介した機器のビューを定義します。機器の内部動作を定義するものではありません。これには、このクラスのすべての機器の基礎として、特定の転送コマンド状態モデルとトランスポートおよびストレージ システム コントローラー (TSSC) 状態モデルが含まれています。

この文書は、GEM の基本要件と選択された追加機能 (§ 11 で指定) が AMHS SEM 機器に実装されていることを前提としています。これは、状態モデル (TSSC、転送コマンド、車両および運送業者の状態モデル)、収集イベント、警報文書化、リモート コマンド、データ項目変数、および物質移動の領域における GEM 標準要件と機能を拡張します。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

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