SEMI E147 - 機器データ収集 (EDA) のガイド -

Abstract

この規格は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 11 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。この版は、2007 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。

E この規格は 2007 年 9 月に編集上修正され、重複するセクションが削除されました。 § 6 に変更が加えられました。

このガイド文書では、機器データ収集 (EDA) SEMI 標準スイートに関する追加情報を提供し、これらの標準間の関係を説明し、EDA 仕様が適切に適用されることを保証するための実装の基本概念を示します。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス

SEMI E40 — 処理管理の標準

SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様

SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様

SEMI E116 — 機器性能追跡 (EPT) の仕様

SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様

SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様

SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様

SEMI E134 — データ収集管理 (DCM) の仕様

SEMI E138 — XML 半導体共通コンポーネント

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