SEMI E156 - 450 mm 自動マテリアル ハンドリング システム (AMHS) ストッカーと輸送機器の間の機械的インターフェイスの仕様 -

Abstract

注意: この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この仕様の目的はインターフェースを定義することです 自動マテリアルハンドリングシステム (AMHS) ストッカーと異なるタイプの間 搬送装置の寸法を明確にし、450ウェーハキャリアに必要な寸法を明確にする 移行。

この規格の仕様は代表的なものをカバーします 450 mm AMHS ストッカーと 450 mm 用搬送装置間のハンドオフ インターフェイス ウェーハキャリア。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E154 — 450 mm の機械的特徴の仕様 ロードポート

SEMI E158 — 工場の機械的特徴の仕様 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の搬送と保管に使用されるウェーハ キャリア キネマティックカップリング

SEMI E159 — マルチの機械的特徴の仕様 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用されるアプリケーション キャリア (MAC)

SEMI G92 — 450 mm 用テープフレームカセットの仕様 ウエハ

SEMI M80 — 前開き配送ボックスの仕様 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用

改訂履歴

SEMI E156-1115 (完全な書き換え)

SEMI E156-0710 (初公開)

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