SEMI E150 - 機器トレーニングのベストプラクティスに関するガイド -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

注意: 「注:」というタイトルの段落は、この規格または安全ガイドラインの正式な部分ではなく、公式の規格または安全ガイドラインを修正したり置き換えたりすることを意図したものではありません。これらは、標準または安全ガイドラインの使用を強化するために、世界的な技術委員会によって提供されています。

この規格の目的は、機器トレーニングがパフォーマンスベースとなるように開発および実施するための推奨事項を提供することです。パフォーマンスベースの機器トレーニング (PBET) は、半導体機器所有者の従業員が機器の設置、使用、保守、修理を成功させる可能性を高めます。そうすることで、PBET は、SEMI E10 で定義された指標に基づいて、機器所有者が信頼性、可用性、保守性 (RAM) の目標を達成する能力を向上させます。そのため、PBET は、SEMI E79 と SEMI E35 でそれぞれ定義された指標に基づいて、生産性の向上とコストの削減に役立ちます。

この基準は、機器トレーニングを開発する必要があるすべての企業に適用されます。

この規格は、オペレーター、メンテナンス技術者およびエンジニア、サービス担当者、アプリケーション/プロセス技術者およびエンジニアを含む、機器を扱うすべての人に対するトレーニングに適用されます。

この規格は、パフォーマンスベースの機器トレーニングの開発および提供のプロセスと、結果として得られる PBET 製品の重要な特性の両方に関するガイドラインを提供します。

この規格は、基準参照命令 (CRI) の使用を妨げるものではありません。

SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様
SEMI E35 — 半導体製造装置の所有コスト (COO) 指標を計算するためのガイド
SEMI E79 — 機器の生産性の定義と測定に関する仕様
SEMI E149 — 製造装置の購入および使用に関する装置サプライヤー提供の文書ガイド

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