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SEMI E154 - 450 mm ロード ポートの機械的特徴の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書の目的は、450 FOUP および 450 MAC をロードおよびアンロードできる半導体製造装置 (SME) のロード ポートの基本インターフェイス寸法を定義することです。この文書の目的は、革新的なソリューションを制限することなく、ロード ポートとキャリアの相互運用性を可能にする一連の要件と機能を定義することです。
この文書のインターフェース仕様は、関連する SEMI 450 mm FOUP および 450 mm MAC 規格に準拠したキャリアによって推進され、それに適合することを目的としています。
積み下ろしは、あらゆる種類のシステムまたはデバイス (つまり、有人誘導車両または天井ホイスト車両) を使用して、半自動および自動モードで行われることが想定されています。
参照SEMI規格（別途購入） SEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの仕様
SEMI E110 — 300 mm ロード ポートのロード ポート操作インターフェイスのインジケータ配置ゾーンとスイッチ配置ボリュームのガイドライン
SEMI E158 — 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用されるファブ ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械的特徴に関する仕様
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