SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

E01501 - SEMI E15.1 - 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E15.1 - 300 mm ツール ロード ポートの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラーのリーク率の決定と記述に関するガイド
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラー漏洩率の決定および記述のガイド
SEMI E16 - マスフローコントローラー漏洩率の決定および記述のガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E01700 - SEMI E17 - マスフローコントローラー過渡特性テストガイド
SEMI E17 - マスフローコントローラー過渡特性テストガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01700 - SEMI E17 - マスフロースケジューラの過渡特性テストのガイド
SEMI E17 - マスフロースケジューラの過渡特性テストのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E01800 - SEMI E18 - マスフローコントローラーの温度仕様ガイド
SEMI E18 - マスフローコントローラーの温度仕様ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01900 - SEMI E19 - 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) の仕様
SEMI E19 - 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01904 - SEMI E19.4 - 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様
SEMI E19.4 - 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01905 - SEMI E19.5 - 300 mm 底面開口部標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様
E02000 - SEMI E20 - クラスターツールモジュールインターフェース: 電力および緊急オフ標準
E02100 - SEMI E21 - クラスタツールモジュールインターフェースの仕様: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送
E02200 - SEMI E22 - クラスタ ツール モジュール インターフェイスの仕様: トランスポート モジュール エンド エフェクタ除外ボリューム
E02300 - SEMI E23 - カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E23 - カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E02300 - SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインターフェースのための仕様
SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインターフェースのための仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E02400 - SEMI E24 - クラスターツールモジュールインターフェース: 隔離バルブインターロック標準
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