SEMI E22 - クラスタ ツール モジュール インターフェイスの仕様: トランスポート モジュール エンド エフェクタ除外ボリューム -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この仕様の目的は、十分な情報を提供することです。 搬送モジュールのエンドエフェクタがウェーハを出入りできるようにするための詳細 クラスターツール内のプロセスモジュールとカセットモジュールを機械的干渉なしで接続できます。

この仕様では、プロセス内のボリュームについて説明します。 またはトランスポートモジュールの端にアクセスできるカセットモジュール クラスターツールのエフェクター。この規格は以下のモジュールに限定されています。 直径 100 mm から 200 mm までのウェーハサイズに対応します。

下位標準（付属）

SEMI E22.1-1015 — クラスターツールモジュールの仕様 インターフェース 300 mm: 輸送モジュールのエンドエフェクタ除外ボリューム

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E1 — 3 インチ、100 mm、125 mm、および 150 の仕様 mmプラスチックおよび金属ウェーハキャリア

SEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェースの仕様: 機械的インターフェースとウェーハ搬送

改訂履歴

SEMI E22-1015 (技術改訂)

SEMI E22-0697 (再承認 0309)

SEMI E22-0697 (再承認 1102)

SEMI E22-0697 (技術改訂)

SEMI E22-91 (初公開)

SEMI E22.1-1015 (技術改訂)

SEMI E22.1-0309 (技術改訂)

SEMI E22.1-1296 (再承認 1102)

SEMI E22.1-1296 (技術改訂)

SEMI E22.1-92 (初公開)

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