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SEMI E17 - マスフロースケジューラの過渡特性テストのガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は1991年、前版は2007年3月に出版された。
このガイドの目的は、マスフローコントローラー（ MFC ）の過渡特性テストを提供するものである。
参照されるSEMI規格なし。
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