Japan Store
SEMI E16 - マスフローコントローラー漏洩率の決定および記述のガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は1990年発行。前版は2004年11月発行。
このガイドの目的は、マスフローコントローラ(MFCs)漏洩率の記述および測定のための統一された世界的にも通用する方法を確立することである。このガイドは、製造者およびユーザー間の平和と不快を防ぐように考えられている。漏出率とを区別している。
参照されるSEMI規格なし。
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件