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SEMI E16 - マスフローコントローラーのリーク率の決定と記述に関するガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドの目的は、制服を確立することです。 質量流量の漏れ率を記述および測定するための世界的な手段 コントローラー (MFC)。ガス供給システムの漏れの完全性は重要です。 製品の品質と性能を維持します。このガイドは、次のことを防ぐことを目的としています。 メーカーとユーザーの間の混乱と誤解。特に、 機械的リーク率と拡散リーク率を区別します。
このガイドには、用語の定義と手順が含まれています。 半導体業界で使用される MFC のリーク率の決定。
参照されるSEMI規格 (別途購入してください)
なし。
改訂履歴
SEMI E16-0517 (技術改訂)
SEMI E16-0611 (技術改訂)
SEMI E16-90 (再承認 1104)
SEMI E16-90 (再承認 0699)
SEMI E16-90 (初公開)
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