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SEMI E18 - マスフローコントローラーの温度仕様ガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドの目的は、マスフローコントローラの特徴である温度パラメータを説明するための世界共通の手段を確立することです。メーカーとユーザー間の混乱や誤解を防ぐことを目的としています。
このガイドには、半導体業界で使用されるマスフローコントローラーに対する温度の影響を説明する用語の定義が含まれています。
参照されるSEMI規格
SEMI E12 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準化された圧力、温度、密度、および流量単位のガイド
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