SEMI E21 - クラスタツールモジュールインターフェースの仕様: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送 -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この仕様の目的は、クラスタを簡素化することです。 ファブでのツールの実装。機器のサプライヤーは提供する必要があります 仕様を使用して任意のクラスター ツールに接続できるモジュール ここに含まれます。

プロセスモジュールとカセットモジュールが各拠点でウェーハを受け入れます これはモジュールごとに大幅に異なる場合があります。これでは負担がかかります ウェーハをさまざまな場所へ、またはさまざまな場所から移動するための搬送モジュールの機能 クラスターツールのモジュール。この仕様はウェーハ搬送面を定義します カセットおよびプロセスモジュール内。これにより、ウェーハ搬送の問題が回避されます 大幅に制限されますが、モジュールのコンテンツを不当に制限するものではありません。

この仕様は、次の間のインターフェース面を定義します。 クラスターツールのモジュール。機械仕様は次のとおりです。 さまざまなサプライヤーのモジュールを相互に接続できるインターフェース。 モジュールの内容に要件は課されません。

この仕様は 200 mm のウェーハに限定されます 直径 (~8 インチ) 以下、クラスターツール間の境界面まで ただし、次の例外を除きます。トランスポート モジュールは、 インターフェース面。したがって、ウェーハ搬送面の定義は次のようになります。 カセットとプロセスモジュールが必要です。

下位標準（付属）

SEMI E21.1 — クラスターツールモジュールインターフェースの仕様: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送

参照SEMI規格（別途購入）

なし。

改訂履歴

SEMI E21-1015 (技術改訂)

SEMI E21-94 (再承認0309)

SEMI E21-94 (再承認 1102)

SEMI E21-94 (再承認0699)

SEMI E21-94 (技術改訂)

SEMI E21-91 (初公開)

SEMI E21.1-1015 (技術改訂)

SEMI E21.1-0309 (技術改訂)

SEMI E21.1-1296 (再承認 1102)

SEMI E21.1-1296 (技術改訂)

SEMI E21.1-92 (初公開)

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