SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインターフェースのための仕様 -

Abstract

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SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww. semi.orgで入手可能となる。初版は1991年発行、前版は2004年11月発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

プロセス装置および搬送装置間のカセットの搬送は、相互作用する領域内で機械的な操作によって行われ、すばやい応答と信頼できるインタロック信号が必要となる。

この仕様の目的は、材料移動のためのSECS標準に理解されるためのメカニズムの制御のための、カセット搬送パラレルインップット／出力(I/O)を用意することである。

この仕様は，プロセス装置の１つの部分および搬送装置の１つの部分のような，装置の２つの部分の間のカセット搬送のための，パラレルI/Oインタフェースを先行する。

この標準は，装置の２つの部分の間の無線接続パラレルI/Oインタフェース，およびプロセス装置と搬送装置間の光結合パラレルI/Oインタフェースを，定義している。

カセット輸送に対するパラレルI/Oインタフェースの適用例を，次に示します。

装置の各部分は，SECS インタフェースでホストに接続され，引き続きでカセットの搬送が行われ，装置の 2 つの部分それぞれは，図 1 に示すようにパラレル I/Oインタフェースにて接続される。

実際のカセット搬送の動作は、パラレル I/O インターフェースを使用して実行され、それは各メカニズムをインタロックする。 I/Oインターフェースを使用しているカセット搬送処理の例を，関連情報1に示す）。

SEMI E1 — オープンプラスチックおよび金属ウェーハキャリアの仕様
SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

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