Japan Store
SEMI E23 - カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
プロセス装置と搬送間のカセット搬送 装置はインタラクティブな機械操作によって実行されます。 迅速な応答と信頼性の高いインターロック信号が必要なエリアです。
この仕様の目的は、カセットを提供することです。 インターフェイス制御用の転送パラレル入出力 (I/O) インターフェイス 物質移動の SECS 標準を補足するメカニズム。
この仕様はパラレル I/O インターフェイスを扱います 2 つの機器間のカセット転送用。 プロセス装置と輸送装置の一部。
この規格は、有線接続されたパラレル I/O を定義します。 2 つの機器と光結合されたパラレル I/O 間のインターフェース プロセス装置と搬送装置の間のインターフェース。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E1 — オープンプラスチックおよび金属ウェーハの仕様 キャリア
SEMI E4 — SEMI機器通信の仕様 標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI機器通信の仕様 標準2メッセージ内容（SECS-II）
改訂履歴
SEMI E23-1104 (再承認 0710)
SEMI E23-1104 (技術改訂)
SEMI E23-96 (再承認0702)
SEMI E23-96 (技術改訂)
SEMI E23-91 (初公開)
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件