SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース: 隔離バルブインタロックの標準
E02600 - SEMI E26 - ラジアル クラスター ツール フットプリント標準
SEMI E26 - ラジアル クラスター ツール フットプリント標準 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E02700 - SEMI E27 - マスフローコントローラーおよびマスフローメーターの直線性に関するガイド
E02700 - SEMI E27 - マスフロースケートおよびマスフローメータの直線性のガイド
E02800 - SEMI E28 - マスフローコントローラーの圧力仕様に関するガイド
SEMI E28 - マスフローコントローラーの圧力仕様に関するガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E02800 - SEMI E28 - マスフローカクテルの圧力仕様のガイドライン
SEMI E28 - マスフローカクテルの圧力仕様のガイドライン セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E02900 - SEMI E29 - マスフローコントローラーおよびマスフローメーターの校正に関する用語
E02900 - SEMI E29 - マスフロースケート及びマスフローメータの補正のための標準用語
E03000 - SEMI E30 - 製造装置の通信および制御用の汎用モデル (GEM) の仕様
E03000 - SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための含まれるモデル(GEM)
E03000 - SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델
SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E03001 - SEMI E30.1 - 特定機器モデルの検査およびレビューの仕様 (ISEM)
SEMI E30.1 - 特定機器モデルの検査およびレビューの仕様 (ISEM) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E03001 - SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM)
SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル(ISEM) セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E03005 - SEMI E30.5 - 計測固有機器モデル (MSEM) の仕様
SEMI E30.5 - 計測固有機器モデル (MSEM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E03005 - SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル
SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
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