SEMI E30 - 製造装置の通信および制御用の汎用モデル (GEM) の仕様 -

Abstract

この仕様は標準実装を定義します 基本的な半導体製造装置向けの SECS-II メッセージのフレームワーク。に 機器の動作と通信機能の共通セットを定義する データ収集、アラーム管理、リモート制御、構成、および この規格により、機器サプライヤーは単一の SECS-II を開発できるようになります。 ホスト自動化のための強固な基盤を提供するインターフェース。また、 デバイスメーカーは、共通の範囲内で独自の自動化ソリューションを実装できます。 業界の枠組み。この標準化によりソフトウェアのコストが削減されます 機器サプライヤーとデバイスメーカーの両方のための開発。 その結果、デバイスメーカーは半導体工場をさらに自動化できるようになります。 迅速かつ効果的に。

注意: SEMI E30.1 および SEMI E30.5 は、SEMI E30 規格ファミリー内では公開されなくなりました。これらはそれぞれ独自のページで個別に公開および販売されます。 SEMI E30.4 は SEMI E82 として再指定され、専用のページで個別に公開および販売されます。

GEM は、次の標準実装を定義します。 あらゆる半導体製造装置に対応するSECS-II。 GEM 規格では次のように定義されています。 共通の機器動作および通信機能のセット。 製造自動化をサポートする機能と柔軟性 半導体デバイスメーカーのプログラム。機器のサプライヤーが提供する場合があります 追加の SECS-II 機能は、追加の機能がある限り GEM には含まれません。 機能はどの動作や機能とも競合しない GEMで定義されています。このような追加には、SECS-II メッセージ、収集イベント、 アラーム、リモートコマンド、処理状態、可変データ項目（データ 変数、状態変数、または機器定数）、またはその他の機能 これはクラス (エッチャー、ステッパーなど) または特定のインスタンスに固有です。 装置。

GEM は、デバイス メーカーと機器サプライヤーの両方に経済的利益をもたらすことを目的としています。機器サプライヤーは、ほとんどの顧客を満足させる単一の SECS-II インターフェイスを開発および販売できるという利点があります。デバイス メーカーは、すべての製造装置にわたる SECS-II インターフェイスの機能強化と標準化から恩恵を受けます。この標準化により、機器サプライヤーとデバイスメーカーの両方のソフトウェア開発コストが削減されます。コストを削減し、機能を向上させることで、デバイスメーカーは半導体工場をより迅速かつ効果的に自動化できます。 GEM 標準によって提供される柔軟性により、デバイス メーカーは共通の業界フレームワーク内で独自の自動化ソリューションを実装することもできます。

GEM 標準は、次のことを規定することを目的としています。

・SECS-II通信環境における半導体製造装置の挙動モデル、

• 半導体製造環境で必要な情報と制御機能の説明。

• 半導体製造装置の基本的な SECS-II 通信機能の定義。

• SECS-II が複数の可能な方法を提供する場合、アクションを達成するための単一の一貫した手段。

• 有用な通信機能を実現するために必要な標準メッセージ ダイアログ。

GEM 標準には 2 種類の要件が含まれています。

• 基本的な GEM 要件と

• 追加の GEM 機能の要件。

基本的な GEM 要件は、GEM 標準の基礎を形成します。追加の GEM 機能は、一部のタイプのファクトリーオートメーションに必要な機能、または特定のタイプの機器に適用できる機能を提供します。基本的な GEM 要件と追加の GEM 機能の詳細なリストは、§ 11「GEM コンプライアンス」に記載されています。図 1 は、GEM 標準のコンポーネントを示しています。

機器サプライヤーは顧客と協力して、特定のタイプの機器にどの追加の GEM 機能を実装する必要があるかを決定する必要があります。 GEM 標準で定義されている機能は、半導体メーカーの工場オートメーション要件を満たすために特別に開発されたため、ほとんどのデバイス メーカーは、特定の種類の機器に適用される GEM 機能のほとんどを必要とすることが予想されます。一部のデバイス メーカーは、工場自動化戦略の違いにより、すべての GEM 機能を必要としない場合があります。

GEM 規格の範囲は、通信リンクを通して見た半導体装置の動作の定義に限定されています。 SEMI E5 (SECS-II) 標準は、ホストと機器間で交換されるメッセージおよび関連データ項目の定義を提供します。 GEM 標準は、どの SECS-II メッセージを、どのような状況で使用する必要があり、その結果生じるアクティビティがどのようなものであるかを定義します。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E4 — 仕様 SEMI機器用通信規格1メッセージ転送(SECS-I)

SEMI E5 — 仕様 SEMI機器通信規格2メッセージ内容(SECS-II)

SEMI E23 — カセットトランスファーパラレルI/Oインターフェース仕様

SEMI E37 — 仕様 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス用

SEMI E173 — XML SECS-II メッセージ表記法 (SMN) の仕様

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