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SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
표준은기술적으로Global Information & Control Committee 에 의해 승인되었으며, 이 개정판 발행은 2011 年 5 月 5 日 13 日 Global Audits & Reviews Subcommittee 에 의해 승인되었다。 원본은 1992年발행되었고、 이전 개정판은 2003 年 년 11 월에 발행되었다。
범위 (スコープ) — GEM 표준의 범위는 통신 연결 측면에서 반도체 장비의 동작을 정의하는 것으로 제 한한다。 SEMI E5 (SECS-II) 표준 은 호스트와 장비간에 소통 되는 메시지와 그에 관련된 데이터 의 정의를 규정하 며、 GEM 표준은 어떤SECS-II メソッド、어떤 상황에서 사용되어야 하는지、그리고 어떤 결과가 도출 되어야 하는지를 정의한다。図 1 GEM、SECS-II の構造。
GEM は、GEM をサポートしています。 호스트 컴퓨터는 언제든지 GEM メソッド지 시나리오 를 시작할 수 있으며 장비의 응답은 GEM 표준에 명시된 것이어야 한다。 GEM メソッド 시나리오가 호스트나 장비에서 시작된다면, 호스트가 적절한 GEM メソッドGEM は、GEM をサポートしています。
参照されるSEMI規格SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理の仕様 (Ra P )
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