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SEMI E28 - マスフローコントローラーの圧力仕様に関するガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドの目的は、制服を確立することです。 ワールドワイドとは、質量流量に関連する圧力パラメータを記述することを意味します コントローラー (MFC)。混乱や誤解を防ぐためのものです メーカーとユーザーの間で。
このガイドには、ガスを説明する用語の定義が含まれています 半導体産業で使用される MFC 内の圧力。 SI 単位は、 このガイドの基準単位。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E12 — 標準化された圧力、温度、 マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される密度および流量の単位
改訂履歴
SEMI E28-0218 (技術改訂)
SEMI E28-1110 (技術改訂)
SEMI E28-92 (再承認0710)
SEMI E28-92 (再承認 1104)
SEMI E28-92 (再承認 0299)
SEMI E28-92 (初公開)
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