SEMI E26 - ラジアル クラスター ツール フットプリント標準 -

Abstract

この規格は、世界的な物理インターフェイスおよびキャリア委員会によって技術的に承認されており、北米物理インターフェイスおよびキャリア委員会が直接責任を負っています。最新版は、2004 年 8 月 16 日に北米地域標準委員会によって再承認されました。最初は 2004 年 9 月に www.semi.org で入手可能になりました。 2004 年 11 月に出版予定。初版は 1992 年。最後に発行されたのは 1999 年 6 月です。

注意: この文書は 2004 年に投票され、撤回が承認されました。

この規格の目的は、さまざまなサプライヤーのモジュールを確実にラジアル クラスター ツールに統合できるようにすることです。これは、放射状クラスタ ツール内の隣接するモジュール間の物理的干渉が回避され、クラスタ ツールのすべてのモジュールへのアクセスが保証されるように、機器メーカーに設計仕様を提供します。

下位文書:

SEMI E26.1-92 (廃止 1104) - ラジアル クラスター ツール フットプリント 300 mm 標準

SEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格
SEMI E22 — クラスターツールモジュールインターフェース: トランスポートモジュールエンドエフェクター除外ボリューム標準
SEMI E25 — クラスタツールモジュールインターフェース: モジュールアクセスガイドライン

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