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SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル（ISEM） -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2009年1月2日、グローバル監査審査小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2009年3月にCD-ROM で入手可能となりました。初版は1998 年6月、前版は2006年11 月に出版されました。
本標準では検査および評価装置（ISEM ）のための特定の装置モデル（SEM ）を確立している。モデルはSEMI E30基本要求条件および追加性能に加えて実装されることになること装置特性および挙動で構成この標準の目的は自動（半導体製造）工場へのISEM装置の設置を促進することである。 本書はファクトリオートメーションコントローラから見たISEM装置の動作モデルを定義することによって目的を達成するこの定義には標準ホストインターフェースおよびデバイスの操作挙動（例えばコントロール、状態モデル、データ報告、および報告レベルなど）が書き込まれている。などの項目では，この標準の範囲内の活動がさらに必要とされています。
参照されるSEMI規格
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス シングルセッション モード (HSMS-SS)
SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI M20 — ウェーハ座標系を確立するための仕様
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てる仕様
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