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SEMI E28 - マスフローカクテルの圧力仕様のガイドライン -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となる。 初版は1992年発行。前版は2004 年11 月発行。
このガイドラインの目的は、マスフローコントローラーに関する作業を行う場合に必要な、圧力パラメーターを定めるための統一のとされた、世界中で共通する方法を確立することである。及び有利を防止しようとするものである。
参照されるSEMI規格SEMI E12 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される流量ユニットの標準圧力および標準温度に関する規格
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