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SEMI E27 - マスフローコントローラーおよびマスフローメーターの直線性に関するガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格の目的は、制服を確立することです。 混乱を避けるために線形性の世界的な定義を作成し、 マスフローデバイスのメーカーとユーザーの間の誤解。あ 直線性の仕様は、既知のレベルまでの予測を可能にするために使用されます。 不確かさ、以外の点でのマスフローコントローラー (MFC) の出力 その出力が既知のもの。
範囲は、MFC (コントローラー) の線形性を定義することです。 一体型流量変換器と制御バルブ付き) および質量流量計 (MFM) (流量トランスデューサのみ)。端子ベースの線形性は、 MFC と MFM の直線性。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI E27-1017 (技術改訂)
SEMI E27-0611 (技術改訂)
SEMI E27-92 (再承認 1104)
SEMI E27-92 (再承認 0299)
SEMI E27-92 (初公開)
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