SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための含まれるモデル（GEM） -

Abstract

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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

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改訂の記録－本書がGEMスタンダードの最初のリリースである。

範囲－ GEM基準の範囲は通信リンクを通してみた半導体製造装置の動作を定義することにされる。ホストと関連装置間で制限されるメッセージおよびデータ項目についてはSEMI E5 （SECS-II ）基準が定義GEM基準は、どのような状況で、どのSECS-IIメッセージを使い、その結果どのような動作が起こるかということを定義する。GEM 、SECS-II 、および通信のためのその他の選択肢の関係を図1に示す。

GEMスタンダードには通信リンク内でのホストコンピュータの動作を定義しようとは考えない。ホストか装置のどちらかがあるGEMメッセージスケジュールを開始した場合、ホストが正しいGEMメッセージを使っていれば装置はGEM基準に書かれている正しく動作する。

SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様

SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス

SEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理の仕様( Ra P )

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