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SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2007年12 月20日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2008年3月にCD-ROM で入手可能となりました。初版は2001年発行、前版は2002 年に発行されました。
注1: 本製品の完全な仕様にはSEMI E30 の一般的な要求事項が全て含まれます。
本標準では計測装置（ MSEM ）のための特定の装置モデル（ SEM ）を確立する。 このMSEMは，このクラスの装置に適用する装置特性および挙動で構成されている，これらをSEMI E30 の基本要求条件および追加性能に加えて、実装することが要求されている。
参照されるSEMI規格
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II) SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS) SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス SEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践 SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てるためのガイド
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