SEMI E30.1 - 特定機器モデルの検査およびレビューの仕様 (ISEM) -

Abstract

注意: SEMI E30.1 は、SEMI E30 規格ファミリー内では公開されなくなりました。専用ページにて別途公開・販売しております。

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1998年6月。以前は 2009 年 3 月に出版されました。

この規格は、検査およびレビュー装置 (ISEM) の特定装置モデル (SEM) を確立します。このモデルは、SEMI E30 の基本要件と追加機能に加えて実装される機器の特性と動作で構成されます。この規格の目的は、自動化された (半導体製造) 工場への ISEM 機器の統合を促進することです。この文書は、ファクトリー オートメーション コントローラーから見た ISEM 機器の運用モデルを定義することでこれを実現します。この定義は、標準のホスト インターフェイスと機器の動作動作 (制御、状態モデル、データ レポート、レポート レベルなど) を提供します。いくつかのトピックでは、この規格の範囲内である追加のアクティビティが必要です。欠陥分類コード管理。データ管理を見直します。

この規格の範囲は、SEMI E30 に準拠した SEMI Equipment Communications Standard II (SEMI E5/SECS-II) ホストによって認識される検査、レビュー、および検査/レビュー機器の動作の定義に限定されます。 SECS リンクを介して機器の外観を定義します。機器の内部動作を定義するものではありません。この規格は、処理状態モデル、リモート コマンド、変数項目、アラーム、およびデータ収集の領域における SEMI E30 の要件と機能を拡張します。

この規格は、基板上で見つかった異常や欠陥に関するデータと情報を生成する ISEM 装置を対象としています。検査機器が異常を発見。異常とは、予期しない、異常、不一致、または矛盾していると判断された基材上の現象です。異常はレビュー装置を使用して検査され、その際に欠陥または非欠陥として分類されます。一部の検査装置は、基板上の異常を特定するための調整データを生成し、一部のレビュー装置はそれを使用する場合があります。生成または使用される座標データの精度は、機器によって異なります。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS)
SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てるためのガイド

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