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SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース： 隔離バルブインタロックの標準 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、Global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されています。現版は2010年4 月30日、Global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .org で入手可能となる。初版は1992年発行、前版は2004年7 月発行。
注意： 2010 年、投票により本書の改訂が承認されました。
本基準の目的は、材料というか装置に、危険な状態損傷という可能性をもたらすような隔離バルブの開閉を、防止することにある。
影響－本基準は，クラスタツールモジュール供給ヤに，インタロックを備えること，およびインタロックが旅行する状態を定義することを求めている。
参照されるSEMI規格SEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格
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