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SEMI E29 - マスフローコントローラーおよびマスフローメーターの校正に関する用語 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。
この規格は、マスフローコントローラー (MFC) およびマスフローメーター (MFM) の校正で一般的に使用される用語を定義します。メーカーやユーザーが使用できる世界中の用語を提供することを目的としています。
この規格は、MFC/MFM キャリブレーションに関連する用語を定義します。現在、半導体業界では、同じ概念またはデバイスを説明するために複数の単語が使用されることがよくあります。この規格は、混乱を解消し、ユーザーとメーカーが MFC/MFM キャリブレーションについて話し合うために使用できる共通言語を提供することを目的としています。
参照されるSEMI規格
SEMI E12 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準圧力、温度、密度、および流量単位のガイド
SEMI E18 — マスフローコントローラーの温度仕様ガイド
SEMI E28 — マスフローコントローラーの圧力仕様ガイド
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