SEMI E30.5 - 計測固有機器モデル (MSEM) の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2001 年に出版されました。以前は 2008 年 3 月に出版されました。

注: この製品の完全な仕様には、SEMI E30 のすべての一般要件が含まれています。

この文書は、計測機器 (MSEM) の特定機器モデル (SEM) を確立します。 MSEM は、このクラスの機器に適用可能な機器の特性と動作で構成されており、SEMI E30 の基本要件と追加機能に加えて実装する必要があります。

この文書の範囲は、SEMI E30 モデルに準拠する SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) ホストによって認識される計測機器の動作の定義に限定されます。 SECS II リンクを介した機器のビューを定義します。機器の内部動作を定義するものではありません。これには、このクラスのすべての機器動作の基礎として、特定の処理状態モデルが含まれています。

この文書は、SEMI E30 の基本要件と、この文書の SEMI E30 機能セクションに記載されているものを除くすべての追加機能が MSEM 機器に実装されていることを前提としています。この文書は、処理状態モデル、収集イベント、プロセス プログラム管理、リモート コマンド、データ項目変数、および座標系の領域における SEMI E30 スタンダードの要件と機能を拡張します。

SEMI E5 - SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E37.1 - 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS)
SEMI E58 - 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てるためのガイド

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.