SEMI E19.4 - 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様 -

Abstract

注意: SEMI E19.4 は SEMI 内で公開されなくなりました 標準の E19 ファミリ。別売りで発行・販売しております。

以下を目的としたコンテナには標準インターフェースが必要です。 基板が入ったカセットの搬送環境を管理します。の インターフェイスは、材料を移送するために適切な容器の向きに対応する必要があります コンテナと装置環境の間の連続性を維持します。 粒子状物質を制御するため。

この仕様では、 クリーンなカセット輸送ボックスをクリーンな環境ハウジングに移動します。 半導体処理装置やその他のクリーンな環境へ。システム コンセプトには、カセットコンテナのドアをカセットコンテナのドアに嵌合することが含まれます。 機器の筐体へのカセットの出し入れ カセットや基板を外部の汚染にさらすことなく、装置を安全に保つことができます。

この規格を組み込むには設備が必要になる場合があります デザイナーはインターフェイスの機能をツールの設計に含めることができます。 これを組み込む場合は、開いているカセット ポート間の間隔を考慮する必要があります。 インターフェース。設計者は仕様と推奨事項を参照する必要があります この点に関してはSEMI E15で作成されています。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェースの仕様 (SMIF)

改訂履歴

SEMI E19.4-0417 (技術改訂)

SEMI E19.4-0912 (技術改訂)

SEMI E19.4-0998E (再承認 0709)

SEMI E19.4-0998E (再承認 0703)

SEMI E19.4-0998E (編集改訂)

SEMI E19.4-0998 (技術改訂)

SEMI E19.4-94 (技術改訂)

SEMI E19.4-92 (初公開)

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