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SEMI E17 - マスフローコントローラー過渡特性テストガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格の目的は、テスト方法を提供することです。 マスフローコントローラー(MFC)の過渡特性測定用。
この規格は、以下の共通の基礎を確立することを目的としています。 半導体装置のユーザーとサプライヤー間のコミュニケーション。それ に関する混乱を避けることを目的とした用語と方法論を提供します。 これまでは MFC の「応答時間」と呼ばれていました。条件と 過渡現象を決定し表現するための手順が与えられています。 設定値のステップ変化に対する MFC の特性。この規格が適用される 半導体製造装置で使用されるガスのマスフローコントローラーまで。
参照されるSEMI規格 (別途購入してください)
なし。
改訂履歴
SEMI E17-0318 (技術改訂)
SEMI E17-1011 (技術改訂)
SEMI E17-0600 (再承認0307)
SEMI E17-0600 (技術改訂)
SEMI E17-91 (初公開)
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