SEMI E19 - 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) の仕様 -

Abstract

注意: SEMI E19.4 および SEMI E19.5 は、SEMI E19 規格ファミリー内では公開されなくなりました。それぞれ個別に出版および販売されています。

この規格は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、1216 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 4 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1991 年に出版されました。以前は 2017 年 1 月に発行されました。

注: この規格は、SMIF ポートの 100 mm (4 インチ)、125 mm (5 インチ)、および 150 mm (6 インチ) バージョンに意図的に制限されています。これは、SMIF ポート標準化の基礎を確立するために行われました。 200 mm (8 インチ) バージョンの諸点は関係者によって交渉され、SEMI E19.4 として発行されています。

ウェーハまたはディスクを含むカセットの輸送環境を制御することを目的としたコンテナには、標準インターフェイスが必要です。インターフェースは、粒子状物質を制御するために、材料移送のための適切な容器の向きに対応し、容器と装置環境の間の連続性を維持する必要があります。

この仕様は、クリーンカセット輸送ボックスを半導体処理装置のクリーン環境ハウジングまたは他のクリーン環境に接続するための 1 つのアプローチについて説明します。このシステムのコンセプトには、カセットコンテナのドアを装置のキャノピーのドアに嵌合し、カセットとウェーハを外部の汚染にさらすことなく、カセットを装置に出し入れすることが含まれます。

下位標準 (含まれる):

SEMI E19.1-0417 — 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) 用の 100 mm (4 インチ) ポートの仕様

SEMI E19.2-0417 — 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) 用の 125 mm (5 インチ) ポートの仕様

SEMI E19.3-0417 — 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) 用の 150 mm (6 インチ) ポートの仕様

SEMI E1 — オープンプラスチックおよび金属ウェーハキャリアの仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E111 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150mm レチクル SMIF ポッド (RSP150) の機械仕様

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