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SEMI E19.5 - 300 mm 底面開口部標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注: SEMI E19.5 は、SEMI E19 規格ファミリー内では公開されなくなりました。こちらのページで別途掲載・販売しております。
注意: この文書は 2003 年に投票され、撤回が承認されました。
この規格は、収容されているウェーハの輸送環境を制御することを目的としたコンテナの標準インターフェイスを指定します。インターフェースは、粒子状および非粒子状の汚染を制御するために、材料移送のための容器の適切な方向に対応し、容器と装置環境の間の連続性を維持する必要があります。
参照されるSEMI規格SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの暫定仕様
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