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SEMI E24 - クラスターツールモジュールインターフェース: 隔離バルブインターロック標準 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な物理インターフェイスおよびキャリア委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 4 月 30 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。最初は 2010 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1992 年に発行されました。以前は 2004 年 7 月に出版されました。
注意: この文書は 2010 年に投票され、撤回が承認されました。
この規格の目的は、危険な状態や材料や機器への損傷の可能性を引き起こす遮断弁の開閉を防止することです。
参照されるSEMI規格
SEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格
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