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SEMI E20 - クラスターツールモジュールインターフェース: 電力および緊急オフ標準 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な物理インターフェイスおよびキャリア委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 8 月 27 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。最初は 2010 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1991 年に発行されました。以前は 2002 年 11 月に出版されました。
注意: この文書は 2010 年に投票され、撤回が承認されました。
この規格の目的は、クラスタ ツールのモジュールに緊急オフ機能を指定することです。ツールの残りの部分の電源を切断せずに、モジュール緊急オフを安全な方法で切断および再接続できるようにします。また、緊急オフが機能していないときにモジュールに電力が供給されるのを防ぎます。
参照されるSEMI規格SEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格
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