SEMI E15.1 - 300 mm ツール ロード ポートの仕様 -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインは無効になっています 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この仕様は、製品の寸法要件を定義します。 300 mm ウェーハプロセスおよび検査装置のロードポート。それは次のことを目的としています 機器と工場間の統一された物理インターフェースを促進し、 自動ウェーハキャリア搬送システムの使用を容易にする、および/または 手動で装填される機器の人間工学的要件。

この規格は 300 mm の機器のみを対象としています。似ている 200 mm 以下のウェーハ用の装置をカバーする要件は、 セミE15。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E1.9 — 使用されるカセットの機械的仕様 300 mm ウェーハの輸送と保管

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E47.1 — FOUPS の機械仕様 300 mm ウェーハの輸送と保管

SEMI E57 — キネマティックカップリングの機械的仕様 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用

SEMI E62 — 300 mm フロントオープンインターフェイスの仕様 機械規格 (FIMS)

SEMI E84 ¾ 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

改訂履歴

SEMI E15.1-0305 (再承認 1110)

SEMI E15.1-0305 (技術改訂)

SEMI E15.1-1104 (技術改訂)

SEMI E15.1-1103 (技術改訂)

SEMI E15.1-0303 (技術改訂)

SEMI E15.1-0600 (技術改訂)

SEMI E15.1-0200A (編集改訂版)

SEMI E15.1-0200 (技術改訂)

SEMI E15.1-0999 (技術改訂)

SEMI E15.1-0699 (技術改訂)

SEMI E15.1-0698 (技術改訂)

SEMI E15.1-0697 (技術改訂)

SEMI E15.1-1296 (技術改訂)

SEMI E15.1-0996 (技術改訂)

SEMI E15.1-96 (初公開)

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