SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F09800 - SEMI F98 - 半導体プロセスにおける再利用水の処理に関するガイド
F09900 - SEMI F99 - メートル法 PFA チューブ用ダイヤフラム バルブの寸法仕様
F10000 - SEMI F100 - メートル法PFAチューブ用ダイヤフラムバルブの最小流量係数の適合性試験方法
F10100 - SEMI F101 - ガス供給システムにおける圧力調整器の性能を決定するための試験方法
F102000 - SEMI F102 - 表面実装ガス分配システムのコンポーネントの寸法の仕様を選択するためのガイド
F10300 - SEMI F103 - 液体化学物質を収容するステンレス鋼キャニスターのサイズ範囲の仕様
F10400 - SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるコンポーネントの粒子寄与率を評価するための試験方法
F10500 - SEMI F105 - ガス供給システムにおける金属材料の適合性に関するガイド
F10600 - SEMI F106 - ヘリウムリークディテクタによるガス供給システムのリーク完全性を判定するための試験方法
F10700 - SEMI F107 - プロセス機器アダプタープレートのガイド
SEMI F107 - プロセス機器アダプタープレートのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F10800 - SEMI F108 - 半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池製造アプリケーション向けの液体化学配管コンポーネントの統合に関するガイド
F10900 - SEMI F109 - ヒーターシステム要件ガイド
SEMI F109 - ヒーターシステム要件ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F11000 - SEMI F110 - 単分散ポリスチレンラテックス (PSL) の試験方法 液体フィルターの課題
F11100 - SEMI F111 - 機器ファンフィルターユニット (EFFU) 粒子除去の試験方法
SEMI F111 - 機器ファンフィルターユニット (EFFU) 粒子除去の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F11200 - SEMI F112 - キャビティリングダウン分光法 (CRDS) による表面実装型および従来のガス供給システムの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法
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