SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F06800 - SEMI F68 - 浄化装置の効率を決定するための試験方法
SEMI F68 - 浄化装置の効率を決定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F06900 - SEMI F69 - ガス供給システムの輸送および衝撃試験の試験方法
SEMI F69 - ガス供給システムの輸送および衝撃試験の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F07000 - SEMI F70 - ガス供給システムの粒子寄与率を測定するための試験方法
SEMI F70 - ガス供給システムの粒子寄与率を測定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F07100 - SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクルの試験方法
SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクルの試験方法 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
F07200 - SEMI F72 - 不動態化された 316L ステンレス鋼コンポーネントの接液面の酸化層のオージェ電子分光法 (AES) 評価の試験方法
F07300 - SEMI F73 - ステンレス鋼部品の接液面状態の走査型電子顕微鏡 (SEM) 評価の試験方法
F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムで使用するメタルシール設計の性能と評価の試験方法
F07500 - SEMI F75 - 半導体製造で使用される超純水の品質監視ガイド
SEMI F75 - 半導体製造で使用される超純水の品質監視ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F07600 - SEMI F76 - 腐食性ガスに曝露されたガスシステムコンポーネントからの粒子の寄与を評価するための試験方法
F07700 - SEMI F77 - 腐食性ガスシステムで使用されるステンレス鋼表面の電気化学的臨界孔食温度試験の試験方法
F07800 - SEMI F78 - 半導体製造アプリケーションにおける流体分配システムのガスタングステンアーク(GTA)溶接の実践
F07900 - SEMI F79 - ガス分配コンポーネントに使用されるシリコンとのガス適合性に関するガイド
F08000 - SEMI F80 - ガス供給システムのガス交換/パージ効率を測定するための試験方法
F08100 - SEMI F81 - 半導体製造アプリケーションの流体分配システムにおけるガスタングステンアーク (GTA) 溶接の外観検査および合格に関する仕様
F08200 - SEMI F82 - 1.125 インチタイプ表面実装ガス分配システム用マスフローコントローラ/マスフローメータの寸法仕様
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