SEMI F68 - 浄化装置の効率を決定するための試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 6 月 4 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2013 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2001 年 11 月。以前は 2008 年 11 月に出版されました。

この文書の目的は、マトリックスガスから活性ガス状不純物を除去する浄化装置の効率を定量化する試験方法を定義することです。

特定の不純物種を除去するためのガス精製器の効率を決定します。効率テストは、純粋なマトリックスガスに ppm レベルのガス状不純物を添加し、活性不純物種についてテスト精製装置の流出液を監視することによって実行されます。テストは、サプライヤーが推奨する流量、動作温度、圧力で行われます。

瞬間的な浄化効率を決定する方法を確立する。

この試験方法は、使用時点 (POU) および大規模な精製装置に適用されます。

この方法は、低レベルの汚染物質を UHP で効率的に除去するためのものです。

SEMI E29 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準化された圧力、温度、密度、および流量単位のガイド
SEMI F6 — 有害ガス配管システムの二次封じ込めに関するガイド
SEMI F22 — ガス供給システムのガイド
SEMI F33 — 大気圧イオン化質量分析計 (APIMS) の校正のための試験方法

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