
SEMI F78 - 半導体製造アプリケーションにおける流体分配システムのガスタングステンアーク(GTA)溶接の実践 -
Abstract
この実践の目的は、半導体製造用途における流体 (液体または気体) 分配システム用のステンレス鋼およびその他の耐食性金属および合金 (CRA) を溶接する手順を提供することです。これらの手順に従って行われる溶接は、半導体製造用途で使用するために必要なシステム純度、溶接の完全性、および溶接強度を提供するのに十分な品質を備えています。
この実践では、流体分配システムにおけるステンレス鋼およびその他の CRA のガスタングステンアーク (GTA) 自生突合せ継手溶接の手順を提供します。流体分配システムには、流体を収容して分配するチューブ、パイプ、継手、バルブ、サブアセンブリおよびコンポーネントが含まれます。
参照されるSEMI規格
SEMI F20 — 汎用、高純度および超高純度の半導体製造用途に使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼の棒、鍛造品、押出形材、プレート、およびチューブの仕様
SEMI F81 — 半導体アプリケーションの流体分配システムにおけるガスタングステンアーク (GTA) 溶接の目視検査および合格に関する仕様
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F07800 - SEMI F78 - 半導体製造アプリケーションにおける流体分配システムのガスタングステンアーク(GTA)溶接の実践
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