Japan Store
SEMI F79 - ガス分配コンポーネントに使用されるシリコンとのガス適合性に関するガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドの目的は、典型的なガス供給システム条件で動作するガス供給システムの接液経路内でシリコンと接触するガスの適合性に関するリソース情報を特定することです。
提供される情報と結論は、出版された文献から引用されたものです。参考文献を引用します。推奨は引用文献に基づいて行われますが、引用文献の有効性については意見がありません。
これらの提案は、自然酸化物で覆われた単結晶または多結晶の高純度シリコンに特有のものです。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI F79-0914 (再承認 0922)
SEMI F79-0914 (技術改訂)
SEMI F79-0710 (完全な書き換え)
SEMI F79-0703 (初公開)
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件