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SEMI F74 - ガス供給システムで使用するメタルシール設計の性能と評価の試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なガス委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 4 月 30 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。最初は 2010 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2002 年 11 月に出版されました。以前は 2003 年 11 月に出版されました。
この文書は、ガス供給システムで使用されるメタル シールの設計を評価するための試験方法です。表面実装ガス システムと従来の金属面シール フィッティング システムの両方をカバーします。
参照されるSEMI規格
SEMI E49 — 高純度および超高純度の配管性能サブアセンブリおよび最終アセンブリに関するガイド
SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
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