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SEMI F76 - 腐食性ガスに曝露されたガスシステムコンポーネントからの粒子の寄与を評価するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 3 月に出版されました。以前は 2010 年 11 月に出版されました。
注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。
これは、腐食性ガスサービスにおける潜在的な粒子発生に関してガスハンドリングコンポーネントを比較するための試験方法です。これは、選択プロセスで比較されるコンポーネントのグループのパフォーマンス データを生成する実用的な手段として意図されています。
この試験方法は、バルブ、粒子フィルター、および低圧レギュレーターに適用されます。
参照されるSEMI規格SEMI C59 — 窒素の仕様
SEMI E66 — マスフローコントローラーによる粒子の寄与を決定するための試験方法
SEMI F43 — ポイントオブユースガス精製器およびガスフィルターによる粒子の寄与を測定するための試験方法
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