SEMI F77 - 腐食性ガスシステムで使用されるステンレス鋼表面の電気化学的臨界孔食温度試験の試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 5 月 19 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 9 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 7 月に出版されました。以前は 2010 年 3 月に出版されました。

注意: この文書は 2015 年に完全に書き直されました。

この試験方法の目的は、半導体製造用の腐食性ガス供給システムでの使用を目的としたコンポーネントの接液面の孔食に対する相対的な耐性を測定することです。この試験方法は ASTM G150 を応用したもので、接液面の腐食性能に影響を与える可能性のある合金組成またはプロセスを区別することを目的としています。

この方法の詳細情報は ASTM G150 に記載されており、この試験方法を適用するために ASTM G150 のコピーを所有することをお勧めします。

この試験方法では、電気化学臨界孔食温度 (CPT) に基づいた手順について説明します。CPT は、腐食性ガス システムでの使用を目的としたチューブの接液面または代表的な仕上げ表面の試験クーポンの耐孔食性をランク付けするために使用されます。孔食は、半導体ガス供給システム、特に溶接され腐食性ガスや湿気にさらされるコンポーネントやチューブにおける主要な腐食故障モードであると考えられています。

この試験方法は ASTM G150 を応用したものです。この適応では、チューブなどのガス供給システムのコンポーネントから切り取られたクーポンまたは濡れた表面部分に対して試験方法を実行する方法が説明されています。水浸法です。

この試験方法は再現可能であり、耐食性の定性的 (視覚的) 評価に加えて測定基準 (CPT) も提供します。

SEMI F19 — ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様

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