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SEMI F81 - 半導体製造アプリケーションの流体分配システムにおけるガスタングステンアーク (GTA) 溶接の外観検査および合格に関する仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様の目的は、半導体製造用途における流体（液体または気体）分配システムにおけるステンレス鋼およびその他の耐食性金属および合金（CRA）のガスタングステンアーク（GTA）溶接の目視検査および合格基準を提供することです。これらの基準は、半導体製造用途での使用に必要なシステムの純度、溶接の完全性、および溶接の強度を提供するのに十分な品質の溶接を保証することを目的としています。
この仕様は、流体分配システムにおけるステンレス鋼およびその他の CRA の GTA 自生突合せ継手溶接の検査および合格基準を定義します。流体分配システムには、流体を収容して分配するチューブ、パイプ、継手、バルブ、サブアセンブリおよびコンポーネントが含まれます。
参照されるSEMI規格SEMI F78 — 半導体製造アプリケーションにおける流体分配システムのガスタングステンアーク (GTA) 溶接の実践
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